項目概述

       半導體產業飛速發展的當下，潔凈的生產環境是保障產品質量的關鍵。近期，位于北京市大興區的半導體潔凈室改造項目成功交付，該項目總建筑面積約為5700㎡，建筑共3層，1-2層為設備生產車間，3層為辦公區域。

       本次改造涵蓋空調及凈化系統、供配電系統、鋼結構系統等多個關鍵領域，尤其在空調及凈化系統的設計與搭建上，充分結合半導體生產的高要求，打造出高效、節能且穩定的系統方案。

運用方案

       在熱源供應方面，項目充分考慮季節變化因素，實現靈活切換。供熱季利用園區現狀市政蒸汽，專門設置2臺板式換熱器，一次側接入現狀減壓后的0.2MPa蒸汽管道，二次側供回水溫穩定控制在60/50℃，確保冬季生產環境的溫暖適宜。過渡季節則啟用新增的風冷熱泵機組供熱，供回水溫保持在55/50℃，滿足季節交替時的溫度需求。同時，熱水系統配置3臺水泵，采用2用1備的模式，保障熱水供應的連續性與可靠性。

       冷源系統是維持潔凈室低溫環境的核心。項目新增2臺華奕螺桿式風冷冷水機組和1臺華奕螺桿式風冷熱泵機組，為潔凈室提供 6/12℃的低溫冷凍水。在制冷工況下，運行2臺機組，且機組總裝機容量與計算冷負荷的比值不大于 1.1，實現高效節能運行。為確保工藝生產的可靠性及連續性，其中1臺風冷冷水機組作為備用，應對突發情況。此外，項目還設置2臺板換換熱器，為百級區提供 13/19℃的中溫冷水，滿足不同區域的精準控溫需求。在水循環方面，低溫冷凍水系統配置3臺水泵，采用2用1備模式，且冷水機組和水泵設置臺數控制，可根據實際負荷調整運行設備數量；中溫冷凍水系統配置2臺水泵，采用1用1備模式，雙重保障冷源供應穩定。

       針對半導體潔凈室不同區域的潔凈度要求，項目采用差異化的空調系統設計。十萬級區采用華奕 MAU（新風機組）+RCU（循環風機組）機組形式，通過高效的空氣處理與循環，維持區域內的潔凈度與溫濕度穩定；百級區作為更高潔凈度要求的區域，采用華奕 MAU+FFU（風機過濾單元）+DCC（干盤管）機組形式，進一步提升空氣凈化效果，確保生產環境達到百級潔凈標準，為高精度半導體生產提供有力支撐。

實現效果

       該方案的空調系統由我司全程集成交付，從冷熱源系統到末端空調系統，實現了所有子系統之間的無縫銜接與最優匹配，避免了不同系統間協同不暢的問題，大幅提升整體系統的運行效率。同時，系統內置臺數控制等智能策略，能夠根據實際負荷自動調整設備運行狀態，在保證潔凈室環境效果的前提下，最大化降低能耗，減少企業運營成本。

      不僅如此，該系統通過風冷熱泵的多工況協同應用，充分發揮設備在不同季節、不同負荷下的優勢，提升能源利用率；末端空調的精準化、干濕分離設計，進一步優化了空氣處理效果，既滿足了半導體生產極高的工藝環境要求，又具備顯著的節能效益和突出的創新價值，成功構建起現代化的潔凈空調系統，也為行業內潔凈室改造項目提供了可借鑒的優秀范例！